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产品分类:BROOKS质量流量控制器
5850E质量流量计
数模橡胶密封;
流量范围:3-30000 sccm;
精度:±0.5% of rate(20%-100% FS);
±0.2% FS(<20% FS);,
±1.0%F.S.(>1100 slpm)
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