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产品分类:Aera质量流量控制器
数字式;
流量范围:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS);
正常工作压力:50 psig(345 kPag)
单位:台 产地:美国 交货周期:6周 保期:一年 验收标准:OEM标准
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